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一、产品特点及用途
反应烧结碳化硅悬臂桨，是半导体晶圆装载系统的关键部件。 悬臂桨性能稳定，在高温环境不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂桨截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗周期，并大幅减少污染物。
二、理化指标
